凈化廠房的制度與紀(jì)律標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)
凈化廠房的制度與紀(jì)律標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)
裝修凈化廠房內(nèi)的人是凈化廠房室內(nèi)污染的重要來源。凈化工程必須盡可能減少凈化廠房內(nèi)人員活動所造成和傳播的污染，以確保室內(nèi)潔凈度及降低維護(hù)費(fèi)用。制定凈化廠房的紀(jì)律，其目的就是使產(chǎn)品的污染風(fēng)險降至最低。
凈化廠房的運(yùn)行管理人員在制定凈化廠房紀(jì)律時，首先，應(yīng)該對凈化廠房內(nèi)工作的人員以及凈化廠房內(nèi)部運(yùn)行工作人員，包括維修人員和服務(wù)人員的活動，制定嚴(yán)格的紀(jì)律加以規(guī)范; 其次應(yīng)該注意的是，凈化廠房內(nèi)所生產(chǎn)的產(chǎn)品對污染的敏感性是不同的，而為凈化廠房制定的紀(jì)律應(yīng)反映出這一點(diǎn)。
1.1嚴(yán)格控制進(jìn)入凈化廠房的人員
人在行走時，每分鐘可以產(chǎn)生約百萬個粒徑≥0.5um。凈化廠房內(nèi)人員越多，散發(fā)的粒子數(shù)量也越多。因此，管理人員應(yīng)盡量控制凈化廠房內(nèi)人員數(shù)量，也就是說僅允許必需的人員進(jìn)人凈化廠房。
此外，還要盡量減少凈化廠房的參觀者。由于參觀者沒有接受過凈化廠房工作培訓(xùn)，因此 只有在監(jiān)管人員的管理之下，才能進(jìn)入凈化廠房。理想的方案是為凈化廠房設(shè)計供參觀者使用的觀察窗，這樣參觀者就不一定非要進(jìn)入室內(nèi)，從而減少了造成 污染的概率。
1.1.1對凈化廠房工作人員的基本要求
凈化廠房的工作人員與一般場所的工作人員相比，應(yīng)該盡量減少人體散發(fā)的污染。凈化廠房運(yùn)行管理人員應(yīng)該制定詳細(xì)的要求，以期將室內(nèi)工作人員造成的污染控制在可接受的范圍內(nèi)。
對凈化廠房工作人員身體狀況的基本要求
凈化廠房工作人員應(yīng)保持身體健康，出現(xiàn)以下身體狀況的人員，可能產(chǎn)生大量的污染粒 子。因此，直至癥狀完全消除前，不宜進(jìn)入凈化廠房工作。
患有某些皮膚病
特別是皮炎、皮膚灼傷、頭皮屑過量等狀態(tài)時，因皮膚可能散布大量的皮細(xì)胞，而不 宜入凈化廠房工作。
患有呼吸系統(tǒng)疾病
例如感冒、慢性肺部疾病等，易造成過量咳嗽或打噴嚏而散發(fā)大量的飛沫，病愈前不 宜人凈化廠房工作。
過敏體質(zhì)的人員
過敏體質(zhì)人員容易有打噴嚏、搔癢、流鼻涕等癥狀，一般不適合在凈化廠房內(nèi)工作。
可能攜帶某些微生物、病菌的人員
在生物凈化廠房中，有時必須將人員與產(chǎn)品隔離開，以防止人員可能攜帶的微生物病菌 在產(chǎn)品上滋長，從而損害產(chǎn)品或造成疾病。這些人員對其所從事的工作是否合適的問題， 應(yīng)連同產(chǎn)品對某種具體類型的微生物在其上生長的敏感性一道予以考慮。
對凈化廠房工作人員衛(wèi)生習(xí)慣的基本要求
凈化廠房工作人員應(yīng)保持良好的個人生活與衛(wèi)生習(xí)慣，不良習(xí)慣同樣會造成凈化廠房潛在 的污染源，下列衛(wèi)生習(xí)慣要求凈化廠房工作人員在日常生活中予以關(guān)注。
人員應(yīng)有良好的個人衛(wèi)生習(xí)慣
要定期洗澡，清除頭皮屑。每次理發(fā)后要洗頭，防止頭發(fā)屑落在產(chǎn)品上。皮膚干燥的 人，應(yīng)使用護(hù)膚霜代替護(hù)膚油滋潤皮膚，以減少皮屑散發(fā)。
—般不允許進(jìn)入凈化廠房工作時使用化妝品
各類化妝品、爽身粉、護(hù)發(fā)用品、頭發(fā)定型膠、指甲油等都不宜使用。凈化廠房通常將 人體上的所有外來物都視為污染物?；瘖y品會對凈化廠房造成污染，因?yàn)槭褂没瘖y品時都會在皮膚上沉積大量的粒子（≥0.5um粒子數(shù)達(dá)109個），其中的一些粒子可能會釋放到凈化廠房中。
—般不允許在凈化廠房中使用手表及首飾，如耳環(huán)、項(xiàng)鏈、手鏈、戒指等
如果使用首飾，必須將首飾置于服裝和手套之內(nèi)。戒指底下可能是藏污納垢之處。而有的人員可能出于情感上的原因，不愿取下結(jié)婚戒指或定婚戒指。如果能將戒指及戒 指下面的皮膚洗凈，也可允許戴著戒指。但戒指上可能刺破手套的地方，要用膠帶裹住為妥。
進(jìn)入凈化廠房前幾小時內(nèi)不宜吸煙
吸煙者的口中可比一般的人釋放出更多的粒子，他們的身體也會釋放出某些化學(xué)氣 體。所以有些凈化廠房要求人員在進(jìn)人凈化廠房前幾個小時禁止吸煙。
3.對凈化廠房工作人員攜帶私人物品的限制
總的原則是非生產(chǎn)所需的任何物品，不得帶人凈化廠房內(nèi)。具體規(guī)章可由凈化廠房的管理 人員依據(jù)何種物品會對產(chǎn)品造成污染來決定。一般來說，下述物品應(yīng)禁止帶入凈化廠房內(nèi): 食品、酒、糖果、口香糖；罐裝或瓶裝飲料；煙、火柴、打火機(jī)；自用的藥品、藥水、藥 膏；收音機(jī)、唱盤播放機(jī)、袖珍磁帶機(jī)、手機(jī)、呼機(jī)；報紙、雜志、書籍、手帕、面巾 紙；鉛筆、橡皮、鋼筆；錢幣、錢夾、化妝品、手袋等。
1.1.2對凈化廠房維修人員和服務(wù)人員的基本要求
進(jìn)入凈化廠房維修設(shè)備或提供服務(wù)的人員，同樣可能因缺乏培訓(xùn)和監(jiān)督，而對凈化廠房環(huán)境造成污染。如果對維修技術(shù)人員事先未作說明，他們就可能會采用與凈化廠房外使用的同樣維修方法維修設(shè)備，其后果可能是嚴(yán)重的。來自外面公司的服務(wù)人員，可能未受過凈化廠房污染控制方法的任何培訓(xùn)。為此下面列出了進(jìn)入凈化廠房的維修人員和服務(wù)人員應(yīng)當(dāng)了解的一系列相關(guān)規(guī)章：
獲得許可方能進(jìn)入
維修人員和服務(wù)人員只有在得到凈化廠房管理人員的許可后，才可進(jìn)人凈化廠房。
培訓(xùn)與監(jiān)督
維修人員和服務(wù)人員應(yīng)受過凈化廠房技術(shù)的培訓(xùn)，此外，在凈化廠房他們的工作宜處在凈化廠房管理人員嚴(yán)密的監(jiān)督之下，進(jìn)出凈化廠房的時間及工作情況等，應(yīng)記錄備案。
穿著潔凈服
維修人員和服務(wù)人員必須穿著與凈化廠房T作人員同樣或效率相當(dāng)?shù)臐崈舴?。?dāng)他們進(jìn)出凈化廠房時，應(yīng)與凈化廠房工作人員采用相同的方式更衣。無論是周末或其他歇班時間，不穿著潔凈服絕不允許進(jìn)入凈化廠房。維修人員和服務(wù)人員進(jìn)入凈化廠房前一定要脫下其原來的工作服，更換潔凈服前要認(rèn)真洗手。
凈化廠房專用工具
凈化廠房維修用的工具僅供凈化廠房內(nèi)使用，要保持潔凈。若維修人員和服務(wù)人員或者外單位的承包商，需要將其必須的工具帶入凈化廠房時，這些工具應(yīng)經(jīng)過清潔，方可帶入凈化廠房。
文字、圖紙等資料的進(jìn)入
書寫在非凈化廠房專用紙上的文字或圖紙等資料不得帶入凈化廠房內(nèi)?？蓪⑵鋸?fù)印在潔凈 室專用紙上，或者覆以塑料膜，或者放人凈化廠房專用塑料袋中方可帶人凈化廠房。
產(chǎn)塵作業(yè)需隔離
一些產(chǎn)生粒子的作業(yè)，如鉆洞、修理頂棚和地面，應(yīng)與凈化廠房的其余部分采取相應(yīng)措 施隔離開。同時，宜采用局部排風(fēng)或真空吸塵器，清除所產(chǎn)生的粒子。
維修工作后的清掃
維修人員和服務(wù)人員在工作完成后必須按凈化廠房要求清理現(xiàn)場，并確保由具有專業(yè)知 識的人員將該區(qū)域按“凈化廠房清潔方式”進(jìn)行清潔，清掃時只能使用經(jīng)審定可用于凈化廠房 的清潔劑、清潔材料和清潔設(shè)備。
1.2凈化廠房內(nèi)需遵守的紀(jì)律
為保證產(chǎn)品不受污染，凈化廠房內(nèi)的工作人員必須遵守相關(guān)的行為準(zhǔn)則。凈化廠房管理人 員必須制定一套與其凈化廠房產(chǎn)品要求相適應(yīng)的規(guī)章制度，在人員培訓(xùn)中，予以宣講公布。并將這些規(guī)章制度張貼在更衣區(qū)或生產(chǎn)區(qū)。以下給出了一般采用的規(guī)章制度宜于包括的內(nèi)容。
1. 2.1防止沿通道逆向氣流增加污染
為防止空氣不會從高污染區(qū)向低污染區(qū)，由凈化廠房外走廊向生產(chǎn)車間逆向流動，工作 人員應(yīng)遵守以下紀(jì)律：
1.人員必須經(jīng)過更衣區(qū)進(jìn)出凈化廠房
更衣區(qū)不僅是用于更衣的，它也是外部的污染走廊與潔凈生產(chǎn)區(qū)之間的緩沖區(qū)。除非 特殊情況，工作人員不得使用生產(chǎn)區(qū)與走廊間的緊急出口等直接出口，因?yàn)檫@會使污染直接進(jìn)人生產(chǎn)區(qū)，同時他們的服裝也會因此受到污染。
2.凈化廠房所有的門應(yīng)關(guān)閉（除保持正壓外）門若敞開時，兩個毗鄰區(qū)域間的空氣會由于紊流及區(qū)域溫差產(chǎn)生逆向流動。
3.手動關(guān)門、開門的動作要慢
如果快速開、關(guān)門，空氣會因門扇轉(zhuǎn)動偏快使誘導(dǎo)作用增強(qiáng)，造成空氣向凈化廠房內(nèi)逆向流動。
對于正壓凈化廠房，門一般是向里開，即向生產(chǎn)間開。室內(nèi)較高的空氣壓力使門關(guān)閉較嚴(yán)密。有些為了使手上持有物品的人員出門方便而向外開，門上應(yīng)安裝關(guān)門器，使門平時處于關(guān)閉狀態(tài)，且開關(guān)門時關(guān)門器應(yīng)控制門緩慢轉(zhuǎn)動以減少誘導(dǎo)作用所產(chǎn)生的空氣逆向流動。外開的門一般不帶把手，有助于避免手套造成的污染。
4.穿過氣閘室的注意點(diǎn)（風(fēng)淋室）應(yīng)確保在第一道門已關(guān)閉時再通過第二道門。可使用指示燈，顯示門是否處在關(guān)閉狀 態(tài)。通常兩邊門采用電子聯(lián)鎖裝置即可實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)。傳遞窗的用法與此相似。但要注意的是，當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時，必須保證氣閘室不會因此產(chǎn)生危險。換句話說，出現(xiàn)火警時，氣閘室門禁電子聯(lián)鎖應(yīng)解除。
1.2.2防止工作人員在凈化廠房內(nèi)的不當(dāng)動作增加污染為保證人員的動作不會在凈化廠房內(nèi)造成過多的污染，應(yīng)考慮下面的相關(guān)建議：
1.工作人員不允許有不當(dāng)行為人員污染物的產(chǎn)生量與活動量成正比。根據(jù)美國著名潔凈技術(shù)先驅(qū)Austin. P. R. 1965 年發(fā)表在美國污染控制協(xié)會（AACC)的污染索引（Contamination Index)的測試數(shù)據(jù)，人 員身著潔凈服不同動作時的產(chǎn)塵量如表1-1所列。從表中可知，人靜止不動時，每分鐘產(chǎn)生的大于等于0.3um的粒子約為10萬個；人在活動時身體、頭、肩膀等每分鐘可產(chǎn)生大 于等于0.3um的粒子約為1百萬個；人的走動速度為3.6km/h時，每分鐘產(chǎn)生的大于等于0.3um的粒子約為5百萬個。因此，要求凈化廠房所有人員不要“輕舉妄動”，任何移動 都應(yīng)慎重，并按規(guī)定進(jìn)行，不允許過多無用的動作。
操作人員要正確站位:
人員相對產(chǎn)品而言，應(yīng)處在正確的位置上，這樣才不致污染物落在產(chǎn)品上。不應(yīng)傾身在產(chǎn)品上方，否則從其身上散落的粒子、纖維或帶有微生物的粒子就會掉在產(chǎn)品上。
移動或拿起產(chǎn)品的方法:
必須事先考慮好如何移動或拿起產(chǎn)品。為防止戴有手套的手污染產(chǎn)品，建議采用“無接觸”方式拿起產(chǎn)品。雖然在凈化廠房中人員戴有手套，污染會少些，但它仍然可能成為污染源。在線寬較大，尚可允許較低的成品率時，這種方法仍在使用?！盁o接觸”方式的一 個例子就是使用長夾子移動材料，這樣就避免了用手拿材料造成的污染，人員不應(yīng)靠身體來搬運(yùn)材料
盡管人員穿著的潔凈服比普通服裝或工作服潔凈得多，但服裝上仍然存在粒子、纖維并且有可能因不當(dāng)操作轉(zhuǎn)移到所搬運(yùn)的物品上。因此操作人員同時應(yīng)注意防止讓任何物品在產(chǎn)品的上方拖過。
人員不宜觸摸、倚靠凈化廠房的任何表面:
盡管凈化廠房的表面比室外要潔凈得多，但在室內(nèi)設(shè)備的表面上，仍會存留有粒子、纖 維及細(xì)菌。如果人員從這些表面上粘上污染物，這些污染物就可能傳到產(chǎn)品上。在凈化廠房 內(nèi)無需用手時，宜兩手抓緊置于身前，有助于防止手部不經(jīng)意地觸摸凈化廠房設(shè)備表面。
人員在工作時不應(yīng)說話:
說話、咳嗽、打噴嚏等都會使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產(chǎn)品。在咳嗽或 打噴嚏時，必須將頭從產(chǎn)品處移開。打噴嚏后一般都要更換口罩?？谡忠欢ㄒ衷诒亲由隙坏迷诒窍拢?yàn)榇謿鈺r大粒子會從鼻內(nèi)釋放出來。
私人手帕不能帶入凈化廠房內(nèi):
私人手帕顯然是污染源，它可以把粒子（包括帶有微生物的粒子）帶人空氣中，粘在手套上。在凈化廠房內(nèi)也不能擤鼻子，擤鼻子可以在更衣區(qū)進(jìn)行，事后一定要更換手套。工作人員在凈化廠房內(nèi)還應(yīng)避免接觸自身皮膚，搔癢、擦拭任何部位的皮膚，都屬不妥行為。
1.2.3防止凈化廠房內(nèi)材料使用不當(dāng)而增加污染;
有關(guān)凈化廠房內(nèi)使用材料的建議如下：
1.在凈化廠房中應(yīng)使用污染程度低的抹布
選擇使用哪種形式的抹布，由凈化廠房的維護(hù)費(fèi)用預(yù)算和凈化廠房生產(chǎn)什么產(chǎn)品來決定。 并且還必須確定抹布丟棄前可以重復(fù)使用的次數(shù)。
凈化廠房之間應(yīng)盡可能減少材料的移動:
每次將產(chǎn)品帶出凈化廠房，它就有可能在潔凈度較差的區(qū)域受到污染。而當(dāng)它再度進(jìn)入凈化廠房時，就會將這種污染帶入室內(nèi)。最好將產(chǎn)品儲存在凈化廠房一個合適的潔凈區(qū)域內(nèi)，或儲存在毗鄰的潔凈區(qū)。
防止加工品被污染:
在生產(chǎn)階段，人們一般非常注意不使產(chǎn)品受到污染。而產(chǎn)品一旦完成某工序后，往 在凈化廠房內(nèi)容易被遺忘，灰塵就會在產(chǎn)品上聚集。因此，易受污染的產(chǎn)品要置于密封柜中，或容器內(nèi)，或單向流工作臺內(nèi)，或隔離裝置內(nèi)。如果凈化廠房為單向流凈化廠房，可以使用氣流能夠穿過其間的儲物架放置產(chǎn)品。此外，不得將材料置于地板上。
廢棄物的處理:
要經(jīng)常將廢棄物收集起來放人易于識別的容器內(nèi)，并移出凈化廠房。
保持凈化廠房整潔:
要采用正確的方法清掃凈化廠房，或在需要時對凈化廠房進(jìn)行消毒，要保持凈化廠房內(nèi)整齊有序。必須使用合乎要求的清潔工具，才能保證清潔效果。
凈化廠房在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化廠房所特別設(shè)計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù)，潔凈房也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風(fēng)形式，則即使流速極低，也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果，這就因?yàn)樗且粋€突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，潔凈房但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，潔凈房特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
